掃描電子顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)介紹

        電子顯微鏡技術(shù)的應(yīng)用是以光學(xué)顯微鏡為基礎(chǔ)的。光學(xué)顯微鏡的分辨率為0.2μm，透射電子顯微鏡的分辨率為0.2nm，即透射電子顯微鏡在光學(xué)顯微鏡的基礎(chǔ)上放大1000倍。次。
        掃描電子顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)介紹
        掃描電子顯微鏡的電子束不穿過(guò)樣品，而是盡可能將電子束聚焦在樣品的一小部分，然后逐行掃描樣品。入射電子導(dǎo)致二次電子在樣品表面被激發(fā)。顯微鏡觀察從每個(gè)點(diǎn)散射的電子。放置在樣品旁邊的閃爍晶體接收這些二次電子，放大后調(diào)制顯像管電子束的強(qiáng)度，從而改變顯像管熒光屏上的亮度。圖像為三維圖像，反映了試樣的表面結(jié)構(gòu)。顯像管的偏轉(zhuǎn)線圈與樣品表面的電子束同步掃描，使顯像管的熒光屏顯示樣品表面的形貌圖像，類(lèi)似于工業(yè)電視的工作原理.由于這種顯微鏡中的電子不必通過(guò)樣品，因此電子加速時(shí)的電壓不必很高。
        掃描電子顯微鏡的分辨率主要由樣品表面電子束的直徑?jīng)Q定。放大倍數(shù)是顯像管上的掃描幅度與樣品上的掃描幅度之比，可以從幾十倍到幾十萬(wàn)倍連續(xù)變化。掃描電子顯微鏡不需要薄樣品；圖像具有很強(qiáng)的立體感；它可以利用電子束與物質(zhì)相互作用產(chǎn)生的二次電子、吸收電子和X射線等信息來(lái)分析物質(zhì)的成分。
        掃描電子顯微鏡的制造是基于電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能入射電子轟擊材料表面時(shí)，激發(fā)區(qū)會(huì)產(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征X射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子以及可見(jiàn)光、紫外光和紅外光。該區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí)，還可以產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng)（聲子）和電子振蕩（等離子體）。